超聲波清洗技術最早出現于20世紀30年代早期，由美國新澤西州的美國無線電公司技術人員研究提出。國外超聲波清洗設備種類繁多，超聲波清洗設備應用領域非常廣泛，各種超聲波清洗設備不斷推陳出新。高頻超聲波清洗技術在國外超聲波清洗設備中所占比重非常大，用來清洗微小芯片，可以把0.15μm的污染物清洗掉。我國的超聲波清洗技術方面研究相對較早，超聲波清洗技術發展快速、應用廣泛，清洗技術綜合利用方式也多樣化:一個是從單缸機到多缸機或自動化的超聲清洗生產線;另一個是從低頻超聲清洗機到高頻超聲清洗機方式。
（1) 聚焦式清洗:可以在局部區域發生高強度的超聲波，工作頻率有15，20，28kHz。聚焦式清洗方式可以彌補普通超聲波清洗方式由于超聲波能量不夠而引起的清洗不徹底。
（2) 超聲振動清洗:是超聲波通過變幅桿和振動頭傳送到需要清洗的物件上，最后由于高速振動物件表面污染物脫落實現清洗效果。這種新方法和普通超聲波清洗方法的不同點是不需要清洗液。
（3) 多頻清洗:是由多種頻率的換能器同時發生不同頻率的超聲波來清洗物件。不同的超聲波頻率對物件的清洗效果是不一樣的。低頻超聲波清洗物件表面的污染物，高頻超聲波清洗內部細小的污染物，高、低頻配合使物件清洗干凈。
（4) 掃頻和跳頻清洗:二者都有改善超聲波清洗容器內超聲場的結構。掃頻可以改善清洗容器內的駐波場，使物件清洗得很好。跳頻和多頻都可以根據實際情況選擇高、低頻。不一樣的是，跳頻是一種換能器有兩種頻率，根據需要選擇發生那種頻率。
（5) 多槽式全自動聯合清洗:是多槽聯合智能控制、降低勞動強度、提高綜合效率的智能設備。它可以對放入清洗槽內的規格不同、材料不同、形狀不同、污染程度差異的物件，根據其不同情況、不同方位發生對應的頻率、功率等超聲波，實現用最少的成本達到最佳的清洗效果。
（6) 兆赫級超聲清洗:這種高頻清洗方式的清洗原理是利用聲能產生的液體流動來清洗污件的，不是傳統的利用“超聲空化效應”來實現清洗目的。兆赫級超聲波清洗不會因“空化效應”產生強大的清洗力，因此其優點是對類似集成芯片這樣體積小、容易受損的物件既能清洗得很好、也能很好地保護器件，從而在電子元件清洗領域應用非常廣泛。
