隨著基于啁啾放大技術的高功率激光系統的發展，脈寬壓縮光柵作為關鍵元件,其性能要求越來越高，尤其是激光損傷閾值和衍射效率。對于用于高功率激光系統中的光柵而言，制備過程中帶來的表面雜質污染將導致強烈的激光吸收以致光柵損傷，因此清洗掉光柵的表面污染對光柵的抗激光損傷性能提升有著舉足輕重的意義。
本研究系統對比了SPM+兆聲清洗和氧等離子體+HPM+兆聲清洗兩種清洗方法對實驗室制備的多層介質脈寬壓縮光柵的清洗效果，通過X射線光電子能譜測試，衍射效率測試，原子力顯微鏡，表面溫升測量，激光損傷測試評估這兩種清洗方法的優劣。
結論
本文詳細研究了多層介質膜脈寬壓縮光柵的兩種常用清洗方法 ， 即SPM(98wt%H2SO4+30wt%H2O2)+兆聲(方法1)和氧等離子體+HPM(37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O)+兆聲(方法2)。通過測試清洗前后表面元素含量變化，衍射效率，表面粗糙度，連續激光表面溫升以及激光損傷閾值，可以發現經過方法1清洗后樣品的抗激光損傷性能、表面溫升、表面粗糙度和衍射效率優于方法2清洗后的樣品。雖然方法2清洗后樣品表面具有更低的雜質含量，但是氧等離子體灰化去膠過程中所引入的Fe元素是降低光柵抗激光性能的關鍵因素。
因此 ， 對于多層介質膜脈寬壓縮光柵，SPM(98wt%H2SO4+30wt%H2O2)+兆聲的清洗方法能夠保證光柵樣品表面潔凈度和衍射效率的前提下更能提升其抗激光損傷性能，是一種比氧等離子體+HPM(37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O)+兆聲清洗方法更簡便更有效的清洗方案。
