超聲波清洗技術經過幾十年來的理論探討和應用研究，無論是設備還是工藝均取得了較大的發展，研發出了一批先進典型的清洗工藝。
1.高頻超聲清洗
該技術采用兆赫茲級的高頻超聲波進行清洗，由于頻率過高，清洗效果主要是靠高頻聲波帶動液體產生的擦洗作用，其對污物的去除率接近百分之百，因而清洗的關鍵不是氣泡，空化效應作用甚微。高頻清洗近來發展較快，目前主要用于超大規模集成電路芯片、硅晶片、陶瓷等特種污物的清洗。
2.多頻清洗
該技術采用多個不同頻率的換能器，在同一液體環境中，分別與各自頻率的換能器發生作用。低頻超聲波的強度高，有利于清洗物體表面；高頻超聲波空化密度高，有利于清洗凹槽、孔洞、細縫等細微結構，同時多種頻率的超聲波克服了單頻清洗不均勻的問題。
3.變頻清洗
變頻清洗是為了改善缸中的聲場結構，使清洗效果均勻。變頻清洗兼顧到高低頻清洗，與多頻清洗不同的是，變頻清洗用的是一只換能器和一只發生器，其換能器有兩個諧振頻率，在第一諧振點帶寬內作連續的頻率變化，然后跳到另一帶寬內進行變頻清洗。它是高低頻交替進行清洗。
